Extremes Ultraviolett Ergebnisse

Extremes Ultraviolett

(extreme ultraviolet) Sehr kurzwellige UV-Strahlung, mit einer Wellenlänge unterhalb 200 nm, wie sie z.B. für Waferstepper (193 und 157 nm) vorgesehen ist.
Gefunden auf https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=E&id=13638&page=1

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Extremes Ultraviolett

(extreme ultraviolet) Sehr kurzwellige UV-Strahlung, mit einer Wellenlänge unterhalb 200 nm, wie sie z.B. für Waferstepper (193 und 157 nm) vorgesehen ist.
Gefunden auf https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=E&id=13638&page=1

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